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CVI-1200CVI-1200系统

简要描述:

主要用途和适用范围:

CVI-1200系统由高温管式炉,真空压强控制系统,多通道高精度数字质量流量控制系统,过压保护及冷凝等部分组成,可实现真空达0.1mbar混合气体化学气相沉积和扩散试验。

主要技术参数:

SGL-1200L真空管式炉

双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

加热元件采用高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2,经久耐用,最高温度可达1200

机器电源

AC220V50/60Hz;额定功率4kw

炉管

高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小,能承受骤冷骤热的温度变化;

尺寸:Φ80*/1000mm

刚玉支撑架,有效保证料件处于温区中心

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速水冷法兰,长期水冷无腐蚀

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合,4个密封硅胶圈等

加热系统

加热元件:0Cr27Al7Mo2

加热区长度:300mm

恒温区长度:150mm

工作温度:≤1150

升温速率:≤10/min

温控系统

温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能

30段升降温程序

测温元件:N型热电偶

恒温精度:±1

超温、断偶故障警报及断电保护

HQZ-

混气系统

高精度质量流量计通过数据接口连接电脑,配置软件实时人机交互界面

四通道质量流量控制,可同时通入四种不同气体

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

流量规格:0~30SLM

控制精度:±1.0F.S

真空系统

采用德国vacuubrand MV2NT VARIO四级隔膜泵,无极调速,实现负压的精准控制

极限真空度可达0.1mbar

可长时间连续工作,无须担心泵因过热保护而中止实验

采用电容式陶瓷隔膜真空规+控制器,操作简单方便

配置气体尾气处理系统

冷凝系统

采用低温恒温槽,最低温度可达-20

内置不锈钢真空冷凝灌,采用KF接头,清理收集方便

槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验

 

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